平面靶绑定是指将靶坯 (镀膜材料) 与背板通过特定工艺牢固结合的技术，形成平面靶材组件，广泛应用于物理气相沉积 (PVD) 镀膜领域。

绑定工艺直接关系到靶材使用寿命、膜层均匀性和设备稳定性。一个好的绑定方案能让靶面，不漏水、不漏气，电接触稳定，膜层更均匀。

平面靶绑定优异特性

• 保证靶材在长时间溅射中均匀消耗，延长使用寿命；

• 改善膜层厚度与成分的均匀性，减少废品率；

• 更换快捷，停机时间短，提高生产线稼动率；

• 密封可靠，避免水冷泄漏导致设备停机。