在大面积镀膜生产线上，旋转靶是一种常见的溅射靶材形式。所谓“旋转靶绑定”，就是把圆柱形靶材与设备阴极系统牢固结合，使其在工作时能够平稳旋转、均匀消耗，同时保证水冷、气体和电流的可靠传输。

绑定工艺直接关系到靶材使用寿命、膜层均匀性和设备稳定性。一个好的绑定方案能让靶管在高速旋转中保持同心不晃动，不漏水、不漏气，电接触稳定，膜层更均匀。

旋转靶绑定优异特性

• 保证靶材在长时间溅射中均匀消耗，延长使用寿命；

• 改善膜层厚度与成分的均匀性，减少废品率；

• 更换快捷，停机时间短，提高生产线稼动率；

• 密封可靠，避免水冷泄漏导致设备停机。