镍钒靶材(NiV)

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金属靶材

镍钒靶材(NiV)

高纯度
耐腐蚀性
良好的物理性能
细晶粒结构

产品介绍

镍钒靶材是由高纯镍(Ni)和钒(V)合金制成的功能性靶材,镍钒靶材广泛应用于物理气相沉积(PVD)及溅射镀膜工艺中。凭借镍钒靶材中镍的优异导电性和耐腐蚀性,以及镍钒靶材中钒的高硬度和耐氧化特性,镍钒靶材能够沉积出高硬度、致密且耐磨的薄膜层,镍钒靶材满足光学、电子、光伏及工业功能性涂层等多领域对性能的严格要求,是多领域功能性镀膜的核心合金靶材。

镍钒靶材核心优势

  • 高纯度

    镍钒靶材纯度普遍达 99.95%(3N5)至 99.999%(5N),其中杂质如 Cr、Al、Mg 需控制在 10ppm 以下,部分场景要求 U/Th≤1ppb,高纯度镍钒靶材可保证薄膜质量,满足高端镀膜工艺的严苛要求,彰显镍钒靶材的核心品质优势。
  • 耐腐蚀性

    镍钒靶材在酸、碱及高温环境下表现稳定,镍钒靶材适用于严苛的工况条件,延长镍钒靶材使用寿命和膜层服役周期,提升镍钒靶材的应用可靠性。

  • 良好的物理性能

    镍钒靶材密度约为 8.0–8.9 g/cm³,熔点约 1350℃,热膨胀系数为 1.2×10⁻⁵/℃,这些物理性能使得镍钒靶材在不同环境下能保持较好的稳定性,适配多场景镀膜需求。

  • 细晶粒结构

    经过特殊的制备工艺,镍钒靶材的晶粒度≤150μm,晶粒细小且分布均匀,镍钒靶材可确保溅射薄膜的均匀性,同时也有利于提高镍钒靶材的溅射速率,提升规模化生产效率。


镍钒靶材的主要应用领域

  1.  集成电路

    在集成电路制作中,一般用纯金作表面导电层,但金与硅晶圆容易生成低熔点化合物,导致界面粘结不牢固。镍钒靶材可一次完成溅射镍层(粘结层)和钒层(阻挡层),镍钒靶材防止金 - 硅扩散,替代了传统的纯镍靶材,镍钒靶材提高了集成电路的性能和稳定性,成为集成电路制造的关键材料。

  2. 平板显示器

    镍钒靶材可用于平板显示器的镀膜,镍钒靶材能够提高显示器的性能,如改善显示效果、增加屏幕的耐磨性等。

  3. 太阳能薄膜电池

    在太阳能薄膜电池领域,镍钒靶材可用于制备电极层,镍钒靶材有助于提高太阳能电池的光电转换效率,助力光伏产业高效发展。

  4. 航空航天

    由于镍钒靶材具有高强度和耐高温性能,镍钒靶材可用于制造航空发动机、导弹部件等,镍钒靶材能够满足航空航天领域对材料高性能的要求,适配航空航天极端环境需求。

  5. 医疗领域

    镍钒靶材可用于制造医疗器械的涂层,镍钒靶材为医疗器械提供耐磨、耐腐蚀和抗菌性能,镍钒靶材提高医疗器械的使用寿命和安全性,拓展镍钒靶材的高端应用场景。

  6. 建筑玻璃

    镍钒靶材用于大型建筑玻璃、汽车玻璃等的镀膜,镍钒靶材可实现隔热、防紫外线、增加玻璃强度等功能,镍钒靶材提升玻璃的性能和品质,适配建筑、汽车领域的功能需求。


技术特性

  • 纯度

    纯度

    99.5%-99.999%

  • 配比

    配比

    常用比例:93:7(可定制比例)

应用场景

  •  集成电路

    集成电路

  • 平板显示器

    平板显示器

  • 航空航天

    航空航天

  • 建筑玻璃

    建筑玻璃

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