镍钒靶材是由高纯镍（Ni）和钒（V）合金制成的功能性靶材，广泛应用于物理气相沉积（PVD）及溅射镀膜工艺中。凭借镍的优异导电性和耐腐蚀性，以及钒的高硬度和耐氧化特性，镍钒靶材能够沉积出高硬度、致密且耐磨的薄膜层，满足光学、电子、光伏及工业功能性涂层等多领域对性能的严格要求。

镍钒靶材核心优势

• 高纯度

  纯度普遍达 99.95%（3N5）至 99.999%（5N），其中杂质如 Cr、Al、Mg 需控制在 10ppm 以下，部分场景要求 U/Th≤1ppb，高纯度可保证薄膜质量。

• 耐腐蚀性

  在酸、碱及高温环境下表现稳定，适用于严苛的工况条件。

• 良好的物理性能

  密度约为 8.0–8.9 g/cm³，熔点约 1350℃，热膨胀系数为 1.2×10⁻⁵/℃，这些物理性能使得镍钒合金靶材在不同环境下能保持较好的稳定性。

• 细晶粒结构

  经过特殊的制备工艺，镍钒合金靶材的晶粒度≤150μm，晶粒细小且分布均匀，可确保溅射薄膜的均匀性，同时也有利于提高溅射速率。

镍钒靶材的主要应用领域

1.  集成电路

   在集成电路制作中，一般用纯金作表面导电层，但金与硅晶圆容易生成低熔点化合物，导致界面粘结不牢固。镍钒合金靶材可一次完成溅射镍层（粘结层）和钒层（阻挡层），防止金 - 硅扩散，替代了传统的纯镍靶材，提高了集成电路的性能和稳定性。

2. 平板显示器

   可用于平板显示器的镀膜，能够提高显示器的性能，如改善显示效果、增加屏幕的耐磨性等。太阳能薄膜电池，在太阳能薄膜电池领域，镍钒合金靶材可用于制备电极层，有助于提高太阳能电池的光电转换效率。

3. 航空航天

   由于其高强度和耐高温性能，镍钒合金靶材可用于制造航空发动机、导弹部件等，能够满足航空航天领域对材料高性能的要求。

4. 医疗领域

   可用于制造医疗器械的涂层，为医疗器械提供耐磨、耐腐蚀和抗菌性能，提高医疗器械的使用寿命和安全性。

5. 建筑玻璃

   用于大型建筑玻璃、汽车玻璃等的镀膜，可实现隔热、防紫外线、增加玻璃强度等功能，提升玻璃的性能和品质。