铝钛靶材由高纯铝与钛合金制成，兼具铝的轻质、高反射性以及钛的高强度、耐腐蚀特性。它适用于物理气相沉积（PVD）、溅射镀膜及蒸镀工艺，可形成均匀、致密的薄膜层，在光学、电子及功能材料等领域得到广泛应用。

铝钛靶材核心优势

• 高纯度和密度

  纯度通常可达 99.8% 及以上，密度根据成分比例不同有所差异，如 Ti33Al67 的密度≥3.29g/cm³，Ti50Al50 的密度≥3.60g/cm³，高纯度和密度有助于保证镀膜质量和靶材的使用寿命。

• 良好的机械性能

  钛铝合金靶材兼具高强度和耐腐蚀性，其独特的晶体结构使其在高温环境下仍能保持稳定的物理性能，且具有较高的硬度和耐磨性，例如其制备的 TiAlN 涂层可提升材料的切削速度与切削性能。

• 优异的化学稳定性

  铝合金靶材具有抗氧化特性，在半导体制造中，能长期接触高纯度气体和等离子体环境，有效延长使用寿命，其低杂质含量确保了镀膜层的均匀性和导电性。

• 高溅射效率

  钛铝合金靶材的晶体结构有利于提升溅射效率，还能显著降低生产过程中的能耗，同时通过精密熔炼和成型技术，如真空电弧熔炼或粉末冶金工艺，可使钛和铝的原子均匀分布，避免成分偏析，确保靶材在溅射过程中不会因应力集中而开裂。

铝钛靶材的主要应用领域

1.  半导体制造

   可用于薄膜沉积，形成导电层、阻挡层或金属互连层等，其低电阻率和高附着力特性可显著提升电路性能，还能在长期接触高纯度气体和等离子体环境中保持稳定，保证微电子器件的可靠性。

2. 平板显示器

   用于平板显示器中的薄膜晶体管（TFT）、电极等部件的镀膜，通过精确控制镀膜的厚度和成分，可以提高显示器的分辨率、色彩饱和度和响应速度，同时降低功耗。

3. 机械加工与工具制造

   钛铝合金靶材可用于制备 TiAlN 涂层，这种涂层兼具出色的韧性与抗氧化性，可大幅提升钻头、刀具、可转位刀片及其他工模具的切削速度与切削性能，延长工具使用寿命。

4. 航空航天

   其制备的 TiAlN 涂层可提升发动机部件、机身结构件的耐高温、抗腐蚀与耐磨性能，保障航空器在极端环境下的安全稳定运行，如加玛钛铝已用来制造 787 和 747-8 飞机的低压涡轮桨片。

5. 汽车行业

   随着新能源汽车与高端燃油车对零部件精度与耐用性要求的提升，钛铝合金靶材涂层广泛应用于发动机气门、变速箱齿轮等关键部件，延长零部件使用寿命，提升整车性能。

6. 光学器件

   其制备的涂层可优化镜片的透光性、耐磨性与抗反射性能，提升光学设备的成像质量，还可用于制造高反射率的镜面涂层，满足激光雷达等先进设备的苛刻要求。

7. 医疗器械
   

   在医疗器械领域发挥着重要作用，如钛铝合金的生物相容性和低毒性使其可用于制造骨科植入物、牙科植入物等。