产品介绍
镱靶材是一种以高纯度稀土金属镱为基础,它是一种柔软、延展性良好的稀土金属,蒸气压低、化学稳定性高,在高真空和高温条件下依然能保持良好的工艺稳定性。采用镱靶材可获得致密、均匀、结合力强的稀土功能薄膜,在微电子、光电子和新能源领域具有独特优势。
镱靶材的优异特性
高纯度、低杂质
采用高纯稀土镱冶炼,杂质含量极低,能显著减少膜层颗粒和针孔,提高薄膜的致密性、均匀性和稳定性。
高致密度与均匀性
靶材组织细腻,密度高,溅射时稳定性好,膜层厚度更均匀。
良好的延展性和加工性
镱金属柔软、延展性佳,可轻松加工成不同规格和形状(圆靶、矩形靶、环形靶),满足多种设备需求。
优异的化学稳定性
在高真空、高温溅射条件下不易与工作气体或基材反应,有助于获得性能稳定、纯净度高的膜层。
稀土独特光电磁特性
镱元素可为薄膜引入特殊光学、电学或磁学特性,使制备的薄膜具备差异化功能,提升产品附加值。
镱靶材的广泛应用
集成电路与半导体领域
接触层和阻挡层:在先进的半导体芯片(如逻辑芯片和存储器)中,当晶体管尺寸缩小到纳米级别时,传统的硅化物接触已无法满足低电阻的要求。镱金属具有较低的功函数,镱薄膜可以作为N型晶体管的欧姆接触层,有效降低源极和漏极与沟道之间的接触电阻,从而提升器件性能和运行速度。
有机发光二极管
镱的功函数与OLED有机材料的LUMO能级匹配良好。因此,镱薄膜常被用作OLED器件的电子注入层或阴极。它可以有效地将电子注入到有机发光层中,提高电光转换效率,降低器件的工作电压。相比于一些活泼金属(如钙),镱在大气中相对更稳定,有利于器件寿命。
太阳能电池
在钙钛矿太阳能电池等新型光伏器件中,镱薄膜同样可以作为有效的电子传输层或电极界面修饰层,帮助提取电子,提升电池的开路电压和填充因子,最终提高光电转换效率。
装饰与功能涂层
金属镱本身呈银白色略带淡黄光泽。通过溅射镱靶材,可以在眼镜框、手表、手机外壳等消费品表面沉积出具有特殊金属质感和颜色的薄膜,兼具美观和耐磨耐腐蚀的功能。
技术特性

纯度
99.9%-99.99%

相对密度
≥99%
应用场景
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