产品介绍
在真空溅射镀膜领域,材料的物理性能直接决定薄膜质量与生产效率,而铜靶材凭借与生俱来的卓越导电性,优异导热性,成为半导体制造、显示面板、光伏产业、动力电池等高端制造领域的 “核心材料”。铜靶材独特的性能优势,不仅保障了溅射过程的稳定高效,更赋予了镀膜产品优异的功能性与可靠性,是溅射镀膜领域的优选靶材。
铜靶材核心优势:纯度和晶粒
超高纯度,杂质极低
铜靶材采用99.9%(3N)至 99.9999%(6N)高纯度电解铜为原料,通过多道提纯工艺(电解精炼、区域熔炼)严格控制氧、硫、铁等杂质含量,确保铜靶材溅射薄膜均匀无缺陷,满足精密电子元件的性能要求,彰显铜靶材的核心品质优势。晶粒尺寸均匀性
铜靶材晶粒均匀、取向一致。铜靶材微观检测时可发现晶粒排列紧密、取向一致,这样能保证铜靶材溅射过程的稳定性和薄膜质量的均匀性,提升铜靶材的溅射性能。优异物理性能,稳定溅射
铜是红橙色金属,熔点1083°C,密度8.96g/cm³,具备出色的热传导性和导电性。铜靶材在高频溅射过程中,能快速散热,避免铜靶材因局部高温产生变形或开裂,保障镀膜过程连续稳定,凸显铜靶材的使用优势。精密成型,适配性强
铜靶材支持平面靶、旋转靶、异形靶等多种规格定制,尺寸精度控制在 ±0.1mm 以内,铜靶材表面光洁度 Ra≤0.8μm,可完美适配磁控溅射、离子束溅射等主流镀膜设备,减少铜靶材溅射起弧现象,适配多场景镀膜需求。
铜靶材的主要应用领域
半导体制造
铜靶材广泛应用于半导体芯片制造过程中的金属布线层(如Cu互连),铜靶材具备优异的导电性和热导性,有效降低电阻和功耗,是先进制程中不可或缺的关键材料。显示面板
在LCD、OLED等平板显示器的生产中,铜靶材常用于形成导电线路层。相比传统材料,铜靶材具有更低电阻,可提升显示响应速度和能效,助力显示面板产业升级。光伏产业
铜靶材在CIGS(铜铟镓硒)薄膜太阳能电池中发挥核心作用,铜靶材用于形成后电极或中间导电层,助力实现高光电转换效率与良好稳定性,适配光伏产业高效发展需求。动力电池
铜靶材也被用于锂电池极片的溅射涂层处理,提升电极附着性与导电性能,有助于提升电池的循环寿命与能量密度,拓展铜靶材的应用边界。
技术特性

纯度
99.9%(3N)至 99.9999%(6N)

晶粒
铜靶材的晶粒尺寸调控在 20-100μm 区间,同时保证晶粒分布均匀且取向一致,不仅利于优化溅射性能,其导电与导热性能好

低氧
氧含量低于10ppm
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应用场景
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