高阻靶是一类用于溅射镀膜的功能性靶材，其特点是具有高电阻率的金属或合金材料。GXO 靶材在物理气相沉积（PVD）过程中能够形成高阻薄膜，适用于光学、电子、半导体和功能性涂层等领域。通过控制靶材成分和结构，可以获得高阻值、稳定性好且附着力强的膜层，满足器件性能优化和特殊功能需求。

高阻靶材的优异特性

• 电阻可调

  
  

• 膜层阻值可调(10⁶~10⁹可任意调整)可靠性稳定

• 可调控性能

  可通过调整靶材成分或工艺参数，实现电阻值、透光率或厚度的精确控制，满足不同应用场景需求。

• 良好的热稳定性

  膜层在高温或长期工作环境下性能稳定，不易导电性能下降或膜层开裂。

• 优异的膜层致密性与附着力

  高阻靶膜层结构致密均匀，与基材结合紧密，提高器件寿命与可靠性。

高阻靶材的广泛应用

1. 光伏行业

   在 LCD、OLED、触控屏或薄膜太阳能电池上沉积高阻薄膜，提供均匀电阻层，同时保持高透光性，保证显示屏亮度均匀，触控响应灵敏；在光伏组件中，减少漏电流，提高光电转换效率。

2. 汽车玻璃

   汽车挡风玻璃、后视镜及建筑玻璃的透明加热层，高阻膜可快速均匀升温，防止玻璃起雾或结霜，提升安全性和舒适性，同时膜层透光性高，不影响视线。

3. 半导体制造
   

   电阻膜、缓冲层或隔离层，用于传感器、MEMS 或集成电路，精确控制电流密度，保护器件免受过流或短路损害，同时提供高可靠性和长期稳定性。

4. 光学功能膜

   光学滤光片及传感器的功能膜层，形成高阻薄膜，保证光学透射或反射性能稳定，耐高温、耐环境变化，延长光学器件寿命。