氧化铝靶材(Al₂O₃)

Al₂O₃ target

众诚达

陶瓷靶材

氧化铝靶材(Al₂O₃)

高纯度
高致密
高均匀

产品介绍

氧化铝靶材(Al₂O₃ target)是薄膜沉积常用核心材料,由高纯度氧化铝制成,具备高熔点、优异化学稳定性与良好热导性,广泛应用于真空镀膜、溅射技术等工艺,适配多领域严苛使用场景,氧化铝靶材凭借这些优势,成为众诚达核心优势产品之一。


氧化铝靶材(Al₂O₃)的优异特性

  • 高致密

    通过热压设备技术改造,众诚达对高致密氧化铝靶材的成型工艺进行深度优化,致密度提升至 90–95%,比行业平均水平减少 30% 溅射颗粒脱落,显著增强氧化铝靶材强度与稳定性。

  • 高纯度

    选用特制原料粉末,杂质极低,纯度≥99.99%,远超行业常规标准,避免杂质干扰薄膜性能,满足高端制造严苛需求,彰显众诚达氧化铝靶材的品质优势。

  • 高均匀

    反复校准烧结参数,保证温控均匀,确保氧化铝靶材不同区域溅射速率均衡,提升终端产品品质稳定性,进一步凸显氧化铝靶材的应用优势。


氧化铝靶材(Al₂O₃)的广泛应用

  1. 半导体制造

    半导体用氧化铝靶材适配集成电路、CMOS 工艺,精准匹配离子注入掩膜需求,提升器件耐压性能与介电强度,符合 12 英寸晶圆镀膜标准,兼容台积电 / 中芯国际主流工艺,广泛应用于晶圆级封装及薄膜电容器,氧化铝靶材成为半导体高端制造的核心耗材。

  2. 光学器件制造

    光学器件用氧化铝靶材可制备 AR 膜、红外滤光片、增透膜及光学保护膜,依托氧化铝靶材高硬度与抗腐蚀性,有效增强光学元件耐磨性与抗腐蚀能力,保障光学系统在复杂环境下稳定运行。

     3.新能源领域

        光伏氧化铝靶材沉积的 Al₂O₃薄膜,可作为晶体硅光伏电池钝化层,助力转换效率提升;在锂离子电池中作为包覆层,在钙钛矿光伏电池中作为电子传输层 / 阻隔层,全面改            善器件效率与稳定性,拓展了氧化铝靶材的应用场景。

     4.显示面板

        显示面板用氧化铝靶材制备的薄膜硬度高、附着力强,可制作显示屏防刮涂层、精密仪器防护膜、工业模具硬化层,延长设备使用寿命,降低后期维护成本,氧化铝靶材成为            显示面板产业的优选耗材。


技术特性

  • 纯度

    纯度

    99.99%

  • 相对密度

    相对密度

    3.5 g/cm³

应用场景

  • 半导体制造

    半导体制造

  • 光学器件制造

    光学器件制造

  • 新能源领域

    新能源领域

  • 显示面板

    显示面板

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