ZTO靶材是一种以氧化锌（ZnO）和氧化锡（SnO₂）为主要成分的透明导电氧化物靶材，兼具高透光性和优异导电性能，是ITO（氧化铟锡）材料的理想替代品。其膜层具有良好的光学、电学特性和化学稳定性，广泛用于显示面板、光伏及触控等领域的薄膜沉积工艺。

氧化锌锡靶材的优异特性

• 高透光率

  ZTO靶材沉积出的薄膜在可见光波段透光率可达到 85%～90% 以上，即使在较厚膜层下也能保持高光学透明度，确保显示器、光伏电池等器件的入射光充足，提高画面亮度和光电转换效率。

• 优异导电性（低方阻）

  通过合理控制ZnO/SnO₂比例和工艺条件，薄膜的方阻可稳定在 10⁻³ Ω·cm 级别，满足触控屏、透明电极和互连层对低电阻率的严格要求，实现快速信号传导和更高器件灵敏度。

• 膜层致密稳定

  溅射出的ZTO薄膜致密性好，附着力强，耐湿热、耐酸碱、耐磨损，长时间工作条件下电学和光学性能衰减小，可靠性高。

• 柔性应用潜力

  在柔性基材上沉积时，ZTO薄膜能保持良好的导电和光学性能，不易开裂，非常适合未来可弯折、可卷曲的柔性显示、柔性光伏等新兴应用。
  

  
  

氧化锌锡靶材的广泛应用

1. 显示面板

   在TFT-LCD、OLED、Micro-LED等显示面板中，ZTO靶材可用于沉积沟道层、缓冲层及透明电极层。其高电子迁移率和低缺陷密度能让面板反应更快、功耗更低，同时保持高亮度与高对比度，显著提升画质和稳定性。

2. 触摸屏技术

   在智能手机、平板电脑、车载显示等触控面板上，ZTO靶材可取代传统ITO作为透明导电膜。其低方阻、高透光率特性使触控灵敏度更高、响应速度更快，且在大尺寸触控屏上表现更佳。

3. 光伏行业

   ZTO可应用于晶硅太阳能电池、CIGS薄膜太阳能电池、CdTe及钙钛矿电池的前电极或缓冲层。其高透过率和低电阻率能够有效提升光入射量并降低电阻损耗，从而提高电池的光电转换效率与长期稳定性。

4. 柔性电子

   ZTO靶材适用于PET、PI等柔性基材，在可穿戴设备、柔性显示、折叠屏及柔性传感器等领域，用作透明导电膜或半导体层。其出色的机械柔韧性保证在多次弯折后仍能保持稳定导电、光学性能。

5. 光学器件制造

   在光学镜头、滤光片、防反射膜等光学元件制造中，ZTO靶材可提供可调折射率、优异透光性和良好附着力的薄膜材料，优化光的透射、反射特性，同时增强元件的耐腐蚀性和耐磨性。